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产品详情
简单介绍:
产品资料CKD小型流量传感器样本
FSM3-B005U1AA1KIN-D
FSM3-B100U1AA1K1N-D
FSM3-B101U1BA1K1N-D
FSM3-B501U1CA1K1N-D
详情介绍:
产品资料CKD小型流量传感器样本
FSM3-B100U1AA1K1N-D
型号 | 名称 | 配管口径(Φ、M) | 备注 |
---|---|---|---|
FSM-H | 微小流量型 | Rc1/8, G1/8 | |
FSM-V | 流量传感器(线性) | 1.8,4,5 | |
FSM-VFM | FSM・FSM-V专用直管型过滤器 | - | |
FSM-V-D | 显示器 | - | |
FSM-X | 流量开关(非线性) | 4,5 |
是压缩空气、氮气用*小型流量传感器。轻量、*速响应,适合电子部件等的吸附确认。
行业
半导体制造工序(后工序)
【*小型、轻量】(FSM-X系列)
通过分离传感头实现了*小型化。
实现了比以往体积减少52%,轻量4G、薄8mm。
产品包括传感头单体和带流路模块两种类型。

【非线性特性】(FSM-X系列)
将模拟输出作为非线性特性,提*了低流量领域的分辨率。

【*速响应】(FSM-V・FSM-X系列)
实现了以往无法实现的5ms的*速响应设计
【双方向测量】(FSM-V・FSM-X系列)
可进行双方向测量,适合吸附确认用途。

产品资料CKD小型流量传感器样本