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  • 产品名称:产品资料CKD小型流量传感器样本

  • 产品型号:FSM3-B100U1AA1K1N-D
  • 产品厂商:日本CKD
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简单介绍:
产品资料CKD小型流量传感器样本 FSM3-B005U1AA1KIN-D FSM3-B100U1AA1K1N-D FSM3-B101U1BA1K1N-D FSM3-B501U1CA1K1N-D
详情介绍:

产品资料CKD小型流量传感器样本
FSM3-B100U1AA1K1N-D  

型号 名称 配管口径(Φ、M) 备注
FSM-H 微小流量型 Rc1/8, G1/8
FSM-V 流量传感器(线性) 1.8,4,5
FSM-VFM FSM・FSM-V专用直管型过滤器 -
FSM-V-D 显示器 -
FSM-X 流量开关(非线性) 4,5

是压缩空气、氮气用*小型流量传感器。轻量、*速响应,适合电子部件等的吸附确认。
行业
半导体制造工序(后工序)


【*小型、轻量】(FSM-X系列)
通过分离传感头实现了*小型化。
实现了比以往体积减少52%,轻量4G、薄8mm。
产品包括传感头单体和带流路模块两种类型。

【非线性特性】(FSM-X系列)
将模拟输出作为非线性特性,提*了低流量领域的分辨率。

【*速响应】(FSM-V・FSM-X系列)
实现了以往无法实现的5ms的*速响应设计

【双方向测量】(FSM-V・FSM-X系列)
可进行双方向测量,适合吸附确认用途。

产品资料CKD小型流量传感器样本


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